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RSD-100型原子层积尘设备

概要信息:
本设备可为单腔原子层积沉系统，专为实验室工艺研发、材料开发等功能开发的一款多功能实验性平台，可针对性实现钙钛矿太阳能电池（PSCS)电子传输层薄膜（TIO2、SNO2等）的制备。
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